职称:教授级高级工程师
研究所:微纳电子学研究院
研究领域:微纳米制造技术
办公电话:86-10-6275 2674
电子邮件:liting@pku.edu.cn
教育背景:
1991年8月在北京工业大学,半导体物理与器件专业获学士学位
主要研究领域:
微纳结构制造工艺开发和工艺流程及版图设计、大型工艺平台运行管理
主要科研项目:
作为项目负责人,分别主持重点实验室基金“金硅键合技术研究”和国家863项目“过程控制硅压力传感器及系统”项目,经费共计213万元;
1996年至今,作为技术骨干参与20余项MEMS工艺和器件相关的NSFC、973、863、电子预研、重大专项课题、重大科技计划等国家级科研项目;
主要获奖成果:
“硅基MEMS技术及应用研究”获2003年北京市科技进步一等奖、2006年国家技术发明奖二等奖(王阳元,张大成,郝一龙,闫桂珍,李婷,张海霞);
IEC(国际电工委员会)微机电领域第一个中国提案标准的核心团队人员;
多次获得北京大学实验技术奖和先进实验室奖;
主要学术任职:
北京大学微电子工艺实验室副主任